- [慧腾资讯]光刻机减震垫用什么材料？2024年05月14日 14:22
- 在半导体制造行业中，光刻机作为尖端科技的代表，其精密程度决定了芯片的制造质量与工艺水平。由于光刻过程需要极高的精度与稳定性，任何微小的振动都可能影响到光刻图案的准确性，进而影响芯片性能。因此，减震措施成为保障光刻机正常运作的关键因素之一。其中，减震垫作为重要的减震元件，其材料的选择尤为关键。本文将深入探讨光刻机减震垫所使用的材料特性、选择标准及其在实际应用中的表现。 减震垫材料的重要性 光刻机的工作原理基于高精度的光学系统与复杂的机械结构，用于在硅片上蚀刻微米乃至纳米级别
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- [慧腾资讯]光刻机减震垫用什么材料？2024年05月13日 17:12
- 光刻机的工作原理基于光束投影，通过一系列复杂的光学与机械系统，将电路图案精确转移到硅片上。这一过程对环境条件有着极为严格的要求，其中，振动控制尤为关键。即使是微米级别的振动，也可能导致光路偏移，影响曝光精度，最终影响芯片的性能和良率。因此，减震技术成为保障光刻机稳定运行的关键因素之一。 减震垫的作用与要求 减震垫作为光刻机基础结构与地面之间的缓冲层，主要承担着吸收外界振动、隔绝低频噪声、维持设备稳定性的重任。理想的减震垫材料需具备以下特性： 优异的减震性能：能有
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