主动隔振器的应用与产生,得益于近年来生化研究的普及,与半导体技术的发展。高倍显微镜的放大倍率的提高,使人们不得不研发隔振效果更好的主动隔振器来满足显微镜对环境的要求。
高放大倍数的原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM),光学显微镜等电镜可观察微米或纳米级的放大率。因此对隔震器的要求越来越高,主动隔振器(图一)的应用完美解决了显微镜对环境振动的要求。
由于高质量成像要求,显微镜大多需要装有高效减震器以足以实验室或无尘室震动和结构噪音对检测的影响。
上图所示,为安装主动隔振器前后,显微镜画面的对比图像,安装前,由于环境的震动,显微镜呈现的图像有波状条纹,严重影响了画面观测质量,安装后,环境震动导致的波状条纹消除,图像完全清晰了,安装主动隔振器前后的差别,竟然这么大!
主动隔振器主要应用在高精密设备,如高精度显微镜:AFM,、SEM、TEM,光刻机、曝光机等半导体检测设备,纳米试验室仪器,生命科学研究设备,精密电子秤,精密测量设备,精密设备和精密医疗设备领域。如果你的设备正面临着震动的干扰,可以来了解一下哦!