微振动技术用空气弹簧

微振动技术用空气弹簧

伴随着制造技术性和少量准确测量技术应用的迅猛发展，微震动控制系统已变成一个十分关键的课题研究。《电子工业抗微振动技术规范》(-2015))是2015年颁布实施的国家行业标准，要求高精度元器件和仪器设备的允许振动值。针对一般的透射电镜和电镜，其容许震动速率为6um/s，纳技术产品研发设备的允许振动速率甚至低于0.75um/s。要达到这样的微振动水平，这个总体目标很难用被动减振技术实现。空气隔离设备将处理这个问题。

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