高中频的震源震动影响，传统上是采用挖槽，做隔离沟来有效的减少震动的影响，但是实际操作起来比较麻烦，效果也不是特别的有效，已经明显不能满足三坐标设备的精度，尤其是现在，三坐标精度提高，对低频振动的影响越来越敏感。
现在减震器作为三坐标的隔振已经非常普遍。蔡司，海克斯康，文泽，思瑞等各种三坐标的减震措施种都可以看见减震器的使用。而且减震器的安装非常的方便，免去了传统隔振的繁琐操作。
还有一些三坐标的使用厂家会选择加普通的减震垫来做简单的隔振处理，这种隔振措施在非常安静的环境种或许可以达到设备的振动许可要求，但是，工厂内运输车辆的走过，或物品的跌落，都会振动值都会超过三坐标的振动允许，造成测量的误差，产生品次的误判定。
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